| 电镜及电镜调整方法 |
| JP2018168563 2018-9-10 发明申请 |
| 2020-3-19 |
| [问题]为了便于轴向调节，可以在电子显微镜中进行。 [解决方案]100是电子显微镜， 电子枪10， 电子枪加速电压电源22被提供加速电子的加速电压， 电子束EB照射透镜12和样品S， 电子束EB偏转，偏转器14， 由物镜16聚焦的电子束EB透过具有电子显微镜S的样品， 成像装置20包括电子显微镜照片图像， 加速电压电源22和控制部14以及偏转器32， 其中， 控制单元32， 以便在预定的周期加速电压下改变功率控制处理，加速电压是加速电压22， 根据摄影条件可变加速电压电子显微镜，以场压控制处理的中心为基准，取得偏转器的轴心的变化处理中取得的电子显微镜图像的加速电压。 图1[附图] |
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