| 扫描束显微镜力学性能原位实时直接测量方法 |
| US16569384 2019-9-12 发明申请 |
| 2020-3-19 |
| 描述了用于直接测量样品的机械性能，同时使用扫描束显微镜(例如，扫描电子显微镜(SEM))对样品成像的系统和方法。 该系统包括构造成保持样品的夹持架和定位在夹持架附近并构造成提供对样品端部的力的直接，实时测量的测力传感器。 所述系统还包括可控探针，所述可控探针被配置为向所述样品施加力。 在一些实施例中，样品测力传感器可倾斜地连接到由夹持支架保持的样品上，并且可控探针可相对于测力传感器在多个不同的安装位置之间移动。 |
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