| 质量光谱仪 |
| JP2005359847 2005-12-14 发明申请 |
| 2007-6-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一个质量光谱仪能够实现高空间分辨率的降低的照射直径当电离是通过执行一个粒子光束的照射一样品与所述颗粒之间的一个条件中的光束一真空气氛气压-压力气氛和一种介质。溶液 : 一个粒子光束屏蔽板5具有一小孔6中钻出一个一个粒子光束的路径从一喷嘴8喷出在一个电离室1位于一气压-压力气氛中被设置，和一个样品3是与所述粒子的一部分光束照射具有穿过该小孔6。产生的离子从所述颗粒上的光束的照射部4所述样品3是收集通过一个离子输送管7和发送到一质量光谱测定部。另外，一个样品台2用于固定所述位置的所述屏蔽板5和保持所述样品3是一个二维平面中移动，其中扫描用于移动所述的所述粒子束照射部4在该样品3是进行，并从而定性的信息和二维分布的定量信息在一预定范围在该样品3可以被获得。版权 : (C)2007，inpit |
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