| 气体入口装置在质量光谱仪 |
| JP2006316373 2006-11-22 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一个气体入口单元,其可以分析一种痕量气体吸附或咬合在一质量光谱仪中的一个原始材料,其具有一气体样品用于测量的物体,并具有一简单结构,和可以容易地操作。溶液 : 所述气体入口装置被提供有一样品室10,一种真空线20,其在干燥室,以使所述室的高真空,一个粉碎装置43,其内部具有一可动轴,其可以插入所述样本室和粉碎样品,通过给出一种直线或旋转运动,而不降低所述的真空度所述腔室,和一个可变阀22引入气体从该粉碎的试片部件分离成所述的质谱仪。版权 : (C)2007,inpit |