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用于热稳定扫描探针显微镜的抗漂移探针及其制造方法

KR1020207005486 2018-8-3 发明申请

2020-3-12

一种用于诸如原子力显微镜(AFM)的表面分析仪器的探针组件，其接收潜在的热漂移效应，所述探针组件包括基板，限定探针组件的基部的远端和。反射垫设置在远端附近或附近，理想地为25(反射垫的尺寸)×，且小于。本发明涉及热稳定的抗漂移探针的微米及其相应的制造方法。