原子力显微镜,原子力显微镜和原子力显微镜的控制方法
 
US16682124  2019-11-13  发明申请

2020-3-12
 
  一种原子力显微镜,包括光栅扫描控制机构,该光栅扫描控制机构被配置为在悬臂和样品之间执行光栅扫描,所述悬臂在自由端具有探针,所述样品在流体中的XY平面上彼此相对, 相互作用控制机构,其被配置为振动悬臂并控制在探针和样品之间产生的相互作用; 以及样本信息获取电路,被配置为基于交互控制机构的控制结果获取包括样本表面相对于XY平面的倾斜信息的样本信息。 相互作用控制机构被配置为根据样品表面相对于XY平面的倾斜来控制在探针和样品之间产生的相互作用。
 
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