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用于离子束应用的改进的离子检测器

US10904438 2004-11-10 发明申请

2006-5-11

利用倍增系统来改进对由离子束从样品散射的弱离子电流的检测，在该倍增系统中，转换电极将入射离子转换成乘以倍增因子的多个二次电子，二次电子被适当的偏压吸引到电子检测器。在一种形式中，检测器是两级系统，其中二次电子撞击闪烁体，该闪烁体发射在光子检测器如光电倍增管或CCD中检测到的光子。