| 装置，用于分析物的特性 |
| KR1020040113890 2004-12-28 发明申请 |
| 2006-7-3 |
| 目的 : 一物理性能分析设备是提供一种分析过程，以增强所述的准确性和效率和以降低制造成本，通过使用一个AES(俄歇电子分光器)和SIMS(二次离子质谱法)在所述相同真空室，构成 : 一物理性分析装置包括一主电子加速器，俄歇电子检测器，一主离子加速器; 和一个二次离子加速器。所述初级电子加速器(110)是用于聚光的电子束根据AES分析方式和加速该电子束朝向一预定的样品在一个曲面表面(10)。所述的俄歇电子检测器(210)被用于分析所述种类和一预定元件的所述样品的体积通过测量所述螺旋传送器发射的电子的能量表面从所述根据所述AES分析样品的方式。所述初级离子加速器(120)是用于向所述样品表面的离子加速根据SIMS分析的方式，所述二次离子检测器(220)是使用用于分析该分布通过检测该样品中各种元素的浓度的二次从所述样品发出的离子根据所述SIMS分析的方式。kipo2006 |
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