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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于原子力显微镜的微悬臂结构及其制造方法

KR1020180115011 2018-9-27 发明授权

2020-3-5

(AFM)和，本发明的微悬臂结构包括弯曲悬臂(100)和柱驱动电路单元；安装在弯曲悬臂(100)上以检测倾斜方向上的位移，以及列驱动电路单元，被配置为通过一行(110)焦耳(111)检测倾斜方向上的位移。 (210)(112)； (110)和弯曲(110)悬臂，用于检测由磁力引起的倾斜方向的位移。 (220)。