| 离子束分析仪 |
| JP2004347183 2004-11-30 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种离子束分析仪能够减少所产生的噪声从低能量的离子一个分析中的散射管的情况下，一磁场型能量分析器中使用的是在一个通用离子束分析装置例如一个高分辨率RBS装置。溶液 : 在所述离子束分析仪100构成，使得样品23是与所述离子束照射从一个加速度侦测单元10用于发射一个高的能量离子束以进行该分析该元件在所述该样品的表面23，一个检测器运动部分35用于保持一个离子检测器34在一可移动的方式为提供一种抗静电的类型和所述电压偏转器33被设置到一预定值不仅到急剧减少噪声但还以实现精确的分析。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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