扫描光学系统及扫描型共焦显微镜
 
WOJP18031614  2018-8-27  发明申请

2020-3-5
 
  一种扫描光学系统(SL),包括 : 具有负折射能力的第一透镜组(G1); 具有正屈光力的第二透镜组(G2); 以及具有负屈光力的第三透镜组(G3)。 包括在第一透镜组(G1)之一中的至少一个透镜, 第二透镜组(G2), 第三透镜组(G3)具有正屈折力,且满足条件式Vd1>80, 以及包含在第一透镜组(G1),第二透镜组(G2)和第三透镜组(G3)中的一个中的至少一个透镜,具有负折射能力,满足条件表达式Vd2<50,并且满足条件表达式Hmax>18.0[mm]。 Hmax是从定义通过物镜的后焦点的主光束中的最大像高的主光束的光轴的最大距离; vd1是基于具有正折射能力的透镜的d-线的阿贝数, 由表达式vd1=(nd1-1)/(nf1-nc1)定义,当nd1是相对于d-线的折射率,nf1是相对于f-线的折射率,nc1是相对于c-线的折射率; 和vd2是基于具有负折射能力的透镜的d-线的阿贝数, 并且由表达式Vd2=(Nd2-1)/(Nf2-Nc2)定义,其中Nd2是相对于D-线的折射率,NF2是相对于F-线的折射率,Nc2是相对于C-线的折射率。
 
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