| 原子力显微镜 |
| WOJP18032400 2018-8-31 发明申请 |
| 2020-3-5 |
| 该原子力显微镜(1)包括 : 保持悬臂顶端(4)的保持器(2); 扫描机构(2),用于保持保持器并通过移动保持器使悬臂在液体样品内以扫描运动移动; 壳体(10),其容纳扫描机构,具有开口部分(14),该开口部分具有形成在其样品台侧上的开口(13),并且其中设置有保持器,以便通过开口向外突出; 第一弹性部件(61),其密封开口的内表面和保持器的悬臂顶端侧上的保持器之间的间隙; 以及第二弹性部件(62),其比第一弹性部件更靠近扫描机构侧地密封开口的内表面和保持器之间的间隙。 |