| 离子注入机 |
| KR1020040084160 2004-10-20 发明申请 |
| 2006-4-27 |
| 目的 : 一种离子注入机是一个源提供，以抑制所述的变化头对准由于外部冲击和，以提高所述上行时间和所述离子注入机的生产率通过使用一种改进的源本身头固定条结构，构成 : 一离子注入机包括一个电源单元，一源极头(20)用于产生一个离子束，一用于分析所述离子束质量分析仪和通过有选择地预定离子，一个扫描单元，用于扫描所选择的离子以一种半导体衬底，一离子束加速器用于加速所选择的离子，和一离子注入单元，用于注入该加速离子到所述衬底。所述源极头是由一个源头的壳体(110)和一个源头固定杆(130)用于稳定地固定所述源头壳体。该源头固定杆和所述源头外壳是与每个其它通过一螺钉连接。kipo2006 |
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