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用于防止纳米器件损伤的探针台的光学显微镜和使用其测量纳米器件的电特性的方法

KR1020180115959 2018-9-28 发明授权

2020-3-2

。是，提供了一种用于防止纳米器件损坏的探针台的光学显微镜和使用该光学显微镜测量纳米器件的电特性的方法，以通过绕支撑单元旋转铰接单元来防止纳米器件的损坏，并提高可靠性电特性测量结果的。纳米器件的。