| 介电膜的检查装置，检查方法以及半导体装置的制造方法 |
| US10437892 2003-5-15 发明申请 |
| 2003-12-4 |
| 在将样品放置在加热真空室中之后，探头被爬升到在样品中形成的电容器上方的位置，该电容器的电特性被认为是要被测量的。 探针与电容器的两个电极接触，这通过电学测量来确认。 为了测量电容损失，在加热真空室内充入N2气体之后，将混合气体从用于3vol%H2+97vol%N2的管线引入到加热真空室内。 在压力稳定之后，同时测量电容损失和经过的时间。 加热真空室中残余H2O和残余O2的浓度通过四极质谱仪QMS测量； 同时，通过传感器测量废气中残余H2O和残余O2中的每一种的浓度。 |
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