| 动态氦罩检漏方法 |
| CN200310115550.X 2003-12-1 发明授权 |
| 2006-2-22 |
| 一种动态氦罩检漏方法,其检漏装置包括一传输装置、氦罩箱、预抽装置及氦质谱检漏仪,其特征是该检漏方法包括3个连续的工序,其中,工序1是预抽装置依序对被检工件进行预抽真空;工序2是预抽好真空的工件由传输装置传送到氦罩箱,然后由氦罩箱内的传输链条托起,输送到氦罩箱顶端移位,再下降送出氦罩箱外;工序3是被检工件离开氦罩箱送到氦质谱检漏仪处,该氦质谱检漏仪对工件检漏普查;对有报警的工件再进一步用吸咀法或喷吹法确定具体漏孔部位。该方法具有“累积法”特征,可以提高灵敏度几个数量级;该方法投资少,操作简单,便于普及推广应用,有利于提高密封性产品的产品质量,而具实用性。 |