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高分辨率分离磁体用于带状束离子注入机
KR1020057021772 2005-11-15 发明申请
2006-2-13
一种用于一种带形的离子束质量分析仪是本发明公开了。所述质量分析仪包括一对的线圈,其限定的入口端和一个出口端该分析仪。领域使用夹在或靠近一个或更多的所述入口和出口端部的所述质量分析仪。所述场夹持操作,以终止边缘场靠近所述质量分析仪的所述入口和出口端,从而降低该冲击的这种弥散场在所述的带状束和提高光束的均匀性。kipo&wipo2007
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