| 一种用于原子力显微镜的探针操作装置及其操作方法 |
| CN201911270393.7 2019-12-12 发明申请 |
| 2020-2-28 |
| 本发明涉及一种原子力显微镜的探针操作技术，具体涉及一种用于原子力显微镜的探针操作装置及其操作方法。本发明的技术方案如下：一种用于原子力显微镜的探针操作装置，包括探针拾取器、电动位移平台、控制器、操控器和系统基座；电动位移平台固定于系统基座的底部，探针拾取器固定于系统基座的上部并悬置于电动位移平台上方；探针拾取器、电动位移平台及操控器分别通过信号线缆与控制器相连；探针拾取器利用真空吸附原理实现对探针的可靠拾取与释放；电动位移平台用于实现探针在操作空间的四自由度位姿定位；操控器通过控制器控制电动位移平台运动和控制探针拾取器启停。本发明能够实现探针从探针盒到探针夹的可靠装配，以及探针从探针夹到探针盒的可靠卸载。 |
微信公众号