| 微腔体四极质谱管 |
| CN200420080549.8 2004-10-27 实用新型 |
| 2006-1-11 |
| 微腔体四极质谱管涉及对微波器件、阴极射线管 (CRT)、场发射器件、光源等电真空器件进行残余气体分析的 四极质谱管，包括四极质量分析器，离子源，离子检测器，其 特征是：采用陶瓷金属化四极质量分析器(1)，其中，瓷管(1.2) 作为真空外壳，瓷管(1.2)内腔设有四极质量分析器的四根极杆 (1.3)，在四极质量分析器(1)的两端面也设有金属化导电层(1.5) 以避免电荷积累，金属电极引针(1.6)从金属化导电层(1.5)或四 根极杆(1.3)内表面通过瓷管(1.2)中的金属化孔(1.7)引出到真空 瓷管(1.2)腔体外，四极质量分析器(1)的瓷管(1.2)与离子源(2) 和离子检测器(3)的真空腔体之间的连接为金属－陶瓷的真空 密封连接。 |
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