| 质谱 |
| WOGB03000312 2003-1-27 发明申请 |
| 2003-8-14 |
| 一种方法制造的微型四极静电质量滤波器已经先前描述的。所述电极被涂覆金属圆柱体，安装在凹槽刻蚀在氧化硅基板，其被保持开在所述正确的间隔由圆柱形的间隔棒。本发明涉及一种离子源安装在所述间隔棒的延伸部分，其凸出超过所述质量滤波器。该离子源包括一冷阴极的电子发射器，其发射的电子与能量足以引起碰撞电离; 和静电光学适合用于耦合所述的离子通量为所述质量滤波器。构建一单个自对准的电子源的方法和一种类似的双源被描述。安排用于安装该电子源和所述离子耦合透镜，使得所述的电子和离子束的行进在右角到一个描述了另一个用于高效分离。一种方法制造的一种自对准的一维排列式单缸安装在所述硅衬底的静电透镜从金属化使用刻蚀的凹槽被描述。一种方法制造的一-自对准的两个三维从金属片是还描述了单透镜。 |
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