| 一种飞行时间二次离子质谱仪 |
| GB0411961 2004-5-28 发明申请 |
| 2005-11-30 |
| 时间飞行的二次离子质谱仪(TOF-SIMS)200包括一个离子枪210，其着火的一个连续光束初级的离子211在一样品220，以产生二次离子221。所述二次离子221被然后通过一收集电极收集装置(收集光学器件)230。所述二次离子211通过从该采集光学系统230为冷却电极装置240。所述二次离子221然后进入一个加速度装置260适于周期性地施加一个脉冲，以离子221在一个方向正交于所述的离子方向行进。所述离子221被这样定向向一检测器280通过一个reflectron270。通过计算产生一个脉冲之间时间间隔通过所述的加速度装置260和所述的到达离子在所述检测器，所述的各种离子的电荷与质量的比和相对丰度可以被确定，依次使该样品220要确定所述的组合物。应用到半导体材料和纯度的测试装置被公开。其它应用包括所述聚合物的分析，金属，化学样品或生物材料，和药物吸收测试。 |
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