| 减少质谱仪装置上的负载 |
| US10733167 2003-12-10 发明申请 |
| 2005-6-16 |
| 一种检测器组件，包括支撑元件，第一电容器板和第二电容器板。 支撑元件被构造成将检测器组件附接到将低压区域和高压区域隔开的室壁上。 所述第二电容器板的表面与所述第一电容器板的表面间隔开以限定电容器间隙。 当检测器组件附接到室壁时，第一电容器板被定位成位于低压区域内。 所述第二电容器板通过绝缘耦合由所述支撑元件支撑。 所述检测器组件还包括用于减小所述第二电容器板和所述支撑元件之间的所述绝缘耦合件上的机械负载的装置。 减小的机械负载包括由较低和较高压力区域之间的压力差引起的负载。 |
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