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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

使用激光产生的等离子体产生电磁辐射

US10363284 2003-9-8 发明申请

2005-5-12

本发明公开了一种极紫外光辐射发生器，其中氙气从高压喷嘴连续喷射到低压室中以产生氙气原子团簇，氙气原子团簇用高重复率脉冲激光照射以形成等离子体并产生准连续的EUV产生。喷嘴具有倾斜的外缘，以使激光的焦点靠近喷嘴。喷嘴冷却到背景氙气冷凝到喷嘴上形成保护层的温度。气体压缩机用于使氙气再循环，并且可以周期性地应用由监测气体纯度的质谱仪触发的批量净化。