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产业专利数据

离子束装置和离子注入方法

US11075909 2005-3-10 发明申请

2005-10-13

公开了一种离子束装置和选择所需束的方法。离子源产生离子，质谱仪提取所需离子种类，反射镜选择性地阻挡具有高质量的离子和通过具有低质量的离子。