| 质谱分析装置 |
| JP2004083761 2004-3-23 发明申请 |
| 2005-10-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一个质量分析装置能够容易地形成用于形成一离子导的一个具有一个倾斜的电位在轴向方向的DC电场与高精度。溶液 : 作为一极电极31用于构成一种离子导向3，一基座本体的一圆形柱31a形状是由陶瓷形成，和一个电阻钌的氧化物薄膜层31c是一个位置处形成所述出口侧端部附近和金导体薄膜层31b被形成在两侧插入此。所述边界的一部分所述电阻器的薄膜层31c和所述导体薄膜层31b被重叠，从而，接触电阻是由小。进一步，一个用于接触31d的导体薄膜层的银钯合金是形成在所述部分焊接一个电气供应线。上述形成极电极31被安装在一保持器32和，由固定所述的相互排列，所述离子导向件3被形成。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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