| 质量光谱仪 |
| JP2004091636 2004-3-26 发明申请 |
| 2005-10-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一种具有改进的质量光谱仪分析的灵敏度通过抑制该扩展离子的传递通过一个分离器的一个孔。溶液 : 其所述的分离器6，一底座体71是由一种绝缘陶瓷具有一个金属的薄膜72所述表面上具有一个集成的面面对一种低真空室，和金属薄膜73a，73b; 73d，分成四个设置所述表面上围绕该孔70面对一高真空室。一个高频电压被施加金属薄膜彼此面对的一对上进行的所述四个金属薄膜，和所述电压具有相反的相位被施加在所述另一对的金属薄膜; 和通过所述上方，一种离子会聚的电场被形成一个空间中形成的所述通道后尽快离子通过该孔7。通过该孔7后的气体分子的扩频，而不被该电场的影响，但该离子。一种离子周围的光轴线会聚的所述电场影响下，和有效地进入一个接受范围后续的离子光学系统。通过该上方，该离子的损失被减小和所述该分析的灵敏度被提高。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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