| 显微镜装置 |
| EP18189767 2018-8-20 发明申请 |
| 2020-2-26 |
| 提供了一种显微镜装置，包括：物镜(1)； 致动器(6)，用于在聚焦动作期间在聚焦方向z上调节物镜和样品(3)之间的距离以达到并保持期望的聚焦位置，绝对z位置检测器(7)，用于测量致动器在聚焦方向上的z位置，自动聚焦光源(11)； 第一光学装置(12，13)，用于在物镜(1)的后焦平面(14)中，在与物镜光轴偏移横向偏移距离(d)的位置处，产生来自光源的自动聚焦光的聚焦光斑(31)，使得物镜产生自动聚焦光的准直入射光束(22)，该准直入射光束以相对于物镜光轴(15)的斜角(β)被引导到衬底上; 以及第二光学装置(13，16)，用于从被衬底表面(4，5)反射通过物镜的准直入射光束产生自动聚焦光的准直出射光束(34，35)，并将准直出射光束引导到检测器阵列(17)上。 所述装置还包括相对z位置检测器(20)，其包括传感器阵列(17)，所述传感器阵列被配置为在聚焦动作期间检测出射准直自动聚焦光束(34，35)在检测器上的漂移位置，所述漂移位置反映物镜和反射基板表面(4，5)之间的距离在z方向上的变化； 以及中央控制单元(8、10)，所述中央控制单元被配置成基于来自所述绝对z位置检测器和所述相对z位置检测器的信号来控制所述致动器，其中，所述相对z位置检测器的信号用于在聚焦寻找和聚焦保持活动期间动态地重新校准所述绝对z位置检测器。 |
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