| 电子显微镜及其控制方法 |
| JP2018153158 2018-8-16 发明申请 |
| 2020-2-20 |
| [A]提供电镜良好的发射状态。 [解决方案]100是电子显微镜， 场发射冷阴极电子枪102， 在冷阴极场发射电子枪102110和控制部分中， 其中， 控制部分110， 冷阴极场发射电子枪102关于冲洗操作是在设定时间内进行的，无论用于确定经过时间的处理是否从， 该处理确定是否启动了预定操作，超过了设定时间确定，并且当确定启动了预定操作时，执行冷阴极场发射电子枪冲洗操作处理。 图1[附图] |
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