| 半导体器件制造设备的残余气体分析仪 |
| US10866755 2004-6-15 发明申请 |
| 2005-1-27 |
| 在具有用于分析设备的处理室中的残余气体的组成的残余气体分析装置的半导体制造设备中，残余气体分析器的加热器与处理室的加热器互锁。 所述残余气体分析器包括离子检测器，并且所述残余气体分析器的加热器具有灯丝和围绕所述离子检测器的一部分的加热套。 一继电器将用于处理室的加热器的电源连接到残余气体分析仪的加热器。 响应于用于控制用于处理室的加热器的操作的加热器开/关信号，向残余气体分析器的加热器供电和从残余气体分析器的加热器切断电源。 |
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