| 真空管装置的残余气体检测装置和方法用于评价的可靠性 |
| JP2003297225 2003-8-21 发明申请 |
| 2005-3-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种剩余气体检测装置，其可以适当地评估一个上影响电子发射一阴极和所述的寿命特性的能力通过检测所述相同的放电气体单独地从一个阴极射线管当所述真空管装置，如所述阴极射线管，等被加热到一个高温度，和以提供一种用于评价的可靠性的方法，其可以评价所述的可靠性用于所述阴极射线管具有不同的排气温度，处理时间，等和制造步骤。溶液 : 该方法用于评价所提高的可靠性包括一步骤一阴极射线管3的温度在一预定速率在一恒温炉2，一个引导所述释放残余气体的步骤在所述管为一种真空开关5在这种情况下，和一步骤的检测量的单独的残留气体组分通过一质谱仪8。所述的方法还包括一步骤检测该残留气体组分的量在所述阴极射线管3不同的制造过程中，所述阴极和所述的可靠性评估的步骤射线管由比较该检测结果。因此，(1)当所述阴极射线管被检查的所述剩余气体，所述的问题，即该量该单独的部件无法测量; 和(2)的存在是不适当的方法测试一由所述阴极中气体引起的寿命射线管在一短时间，和所述的问题是克服所述的寿命测试几个成千至$number数千小时是需要的。 |
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