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产业专利数据

电子束检测器，扫描型电子显微镜，质谱仪和离子检测器

US10470847 2003-8-27 发明申请

2004-4-1

在电子束检测器中，光导将化合物半导体衬底的荧光发射表面光学耦合到光检测器的光入射表面，并且将化合物半导体衬底与光检测器物理连接，从而将化合物半导体衬底与光检测器集成在一起。当化合物半导体衬底将入射电子转换成荧光时，光导将荧光引导到光电检测器，光电检测器检测荧光，从而检测入射电子。