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带状束离子注入机用高质量分辨率磁体

US10606087 2003-6-25 发明授权

2004-8-3

本发明公开了一种用于带状离子束的质量分析器。所述质量分析器包括限定所述分析器的入口端和出口端的一对线圈。在质量分析器的入口端和出口端中的一个或多个处或附近使用场夹具。场夹具操作以终止靠近质量分析器的入口和出口端的边缘场，从而减小这样的边缘场对带状光束的影响并改善光束均匀性。