用于高速原子力显微镜的探针
 
IN201841019216  2018-8-7  发明申请

2020-2-14
 
  本发明公开了一种磁致动的有源探针100,一种原子显微系统和一种用于制造磁致动的有源探针100和致动器301的方法。 磁致动的有源探头100包括基座部件101,具有尖端的杠杆。 一个或多个磁体固定在基座部件101上,一个或多个柔性元件201设置在一个或多个磁体之间。 对于高速AFM应用,本公开的磁致动探针有助于最大化探针的本征频率,范围并降低致动器301的欧姆加热。 图5
 
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