| 真空泵 |
| GB0409139 2004-4-23 发明申请 |
| 2004-5-26 |
| 一个区别地抽真空系统包括装置具有在至少第一和第二室，和一个真空泵用于区别地泵送流体从所述腔室以产生一第一上方的压力0.1毫巴在第一室和一第二压力比第一压力下在第二室，该泵具有在至少第一和第二泵进口每个用于接收流体从一各自的压力室和一个多个的泵送阶段位于相对到所述入口从而使流体接收到从第一室通过通过较少的泵送阶段比流体从第二室，所述入口被连接到所述的装置，使得在所述流体的至少99%的抽吸质量从所述装置通过通过在至少一个的所述泵送阶段的所述的泵。 |
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