| 扫描探针显微镜和使用扫描探针显微镜测量物理量的方法 |
| WOJP18029917 2018-8-9 发明申请 |
| 2020-2-13 |
| 该扫描探针显微镜(50)包括探针(20)， 用于支撑探针(20)的悬臂，其上放置有样品(S)的扫描仪(43)，用于改变样品(S)和探针(20)之间距离的驱动单元(4)，以及用于测量悬臂(2)位移的位移测量单元(3)。 扫描探针显微镜(50)具备 : 曲线生成部(11)，生成表示探针(20)与接近探针(20)时的探针(20)与试样(S)之间的距离与表示悬臂(2)的位移的量的关系的第一曲线；以及第二曲线生成部，生成表示悬臂的位移的量的第二曲线。 表示试样(S)离开探针(20)时的探针(20)与试样(S)之间的距离与表示悬臂(2)的位移量的关系的曲线，以及物理量计算部(53)， 作为样品的物理量，表示第一曲线和第二曲线之间的面积的量。 |
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