| 扫描探针显微镜及其操作方法 |
| WONL19050524 2019-8-8 发明申请 |
| 2020-2-13 |
| 一种操作扫描探针显微镜的方法，其中提供控制环路，该控制环路被配置用于控制扫描探针显微镜的一个或多个反馈参数。 在控制环路的操作期间执行一个或多个系统识别测量， 其中在所述一个或多个系统识别测量期间，将具有多个频率分量的激励信号引入所述控制环路中，并且测量指示传感器装置和样品之间的悬臂位移或台-样品距离的结果响应信号。 使用所述激励信号和所述结果响应信号识别模型响应函数，其中基于所识别的模型响应函数在控制环路中适配一个或多个设置和/或输入信号。 扫描探针显微镜用于使用所适配的一个或多个设置和/或输入信号来表征样品。 |
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