| 一种离子注入机原位质谱仪 |
| US10248996 2003-3-7 发明授权 |
| 2003-12-30 |
| 一种用于原位检测离子注入机装置的束中的离子的装置，包括具有内壁和外壁的质谱仪装置，以及用于产生和引导离子注入束通过质谱仪装置的系统。 所述质谱仪装置产生磁场，所述磁场用于引导期望类型的离子注入束的离子通过用于注入半导体晶片的孔，并使不期望类型的离子与内壁或外壁碰撞。 为了原位检测，在质谱仪的内壁和外壁上设置检测器装置，用于检测偏转的不希望的离子类型。 在一个实施例中，检测器装置包括用于检测包含不希望的元素和化合物的不希望的类型离子的浓度的电子传感器装置。 在另一个实施例中，检测器装置包括法拉第杯装置，用于检测不希望的类型的离子浓度，或者可以包括沿着分别沿着内壁和外壁设置的轨道定位的移动法拉第装置，法拉第被驱动以沿着相应的轨道往复移动。 从对应于不希望的离子检测位置的传感器收集数据，并在晶片处理期间实时处理数据。 以这种方式，可以确定离子注入束中的潜在污染物，并且可以响应地采取校正行动。 |
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