产业集群信息网

产业专利数据

使用多频率原子力显微镜的热测量

US15471283 2017-3-28 发明授权

2020-2-11

描述了用于在原子力显微镜和相关MEMS工作中提取振动悬臂或其它振动传感器的较高本征模态或谐波中携带的信息的装置和技术。还描述了使用具有多个激励信号的接触共振从压电，聚合物和其它材料提取信息的类似装置和技术。