一种高效率光谱仪器能量收集系统
 
CN202311642259.1  2023-12-4  发明申请

2024-2-20
 
  本发明涉及一种高效率光谱仪器能量收集系统,属于光谱仪技术领域,解决了传统光谱仪器能量收集系统存在的圆形光斑被狭缝阻挡过多以及对真空紫外波段不能做到全覆盖的问题。在本发明中,反射镜将光源发出的光线反射至位于焦面处的切片镜组,切片镜组包括若干个以预设的夹角交错摆放的切片镜,各个切片镜对光斑进行切割后,将不同区域的切割光斑以不同的角度反射至瞳镜组中对应的瞳镜上,各个瞳镜再将光斑在狭缝的横向上聚焦,使反射至狭缝处的光斑为长条形。本发明将圆形光斑切割转变为长条形光斑,输入光的能量都能进入到光谱仪内部,因此能量收集效率大幅度提高,同时能够实现在各个波段的能量高效收集,适用范围更广,加工简单,成本较低。
 
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