高光谱成像(HSI)设备和包括该设备的检查设备
 
US17365592  2021-7-1  发明申请

2022-6-2
 
  提供了一种高光谱成像(HSI)设备。 该HSI装置包括:第一狭缝板,被配置为引入输出光束; 第一非球面镜,被配置为反射所引入的输出光束; 具有平面反射表面的第一光栅,所述第一光栅被配置为通过在被所述第一非球面镜反射之后分离所述输出光束来产生多个第一分离光束; 以及被配置为检测所述多个第一分裂光束的第一照相机。
 
仿站