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激光系统、光谱波形计算方法及电子设备的制造方法

US18351712 2023-7-13 发明申请

2023-11-2

一种可连接到曝光装置的激光系统，包括：光谱仪，被配置为从从所述激光系统输出的激光的干涉图案获取测量波形；以及处理器，被配置为使用所述测量波形和第一中间函数来计算卷积光谱波形，所述第一中间函数是通过利用所述光谱仪的仪器功能对所述曝光装置的空间图像函数进行反卷积的处理而获得的。