| 一种不透明样品厚度测量系统及方法 |
| CN202210538785.2 2022-5-18 发明申请 |
| 2022-8-12 |
| 本发明属于光学测量领域，涉及一种不透明样品厚度测量系统及方法。系统包括：SLD光源、光谱仪、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、参考端结构、测量端结构。所述第一光纤耦合器分别与所述SLD光源及所述光谱仪连接，第二光纤耦合器及第三光纤耦合器与第一光纤耦合器连接；参考端结构包括：上表面参考端探头及其调整架、第一反射镜、下表面参考端探头及其调整架、第二反射镜；所述测量端结构包括：上表面测量端探头及其调整架，下表面测量端探头及其调整架，样品载物台。本发明无需机械扫描，减小测量时间，提高测量效率。保证上、下表面的干涉光谱信号处于同一时间，消除系统随时间产生的漂移对测量结果的影响。 |
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