| 利用图案识别以自动地改善扫描电子显微镜(SEM)的轮廓量测精准度及稳定性 |
| TW108124603 2019-7-12 发明申请 |
| 2020-2-1 |
| 本发明揭示一种用于借由量测部分地基于一目标设计建构之一经印刷设计上之一特征而改善一制程模型之方法。该方法包括获得a)来自一影像捕捉器件的该经印刷设计之一影像及b)基于该影像中之形状的轮廓。该方法亦包括借由一图案识别程式鉴别该目标设计上之包括该特征的图案，及判定该等轮廓上之对应于该特征的座标。该方法进一步包括借由至少a)基于该等座标来提供该特征之一量测及b)基于该量测与该目标设计中之一对应特征的一比较来校准该制程模型而改善该制程模型。 |
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