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产业专利数据

基于半导体纳米膜的紧凑型高光谱光谱仪

US17189394 2021-3-2 发明申请

2022-9-8

提供了高光谱谐振腔成像光谱仪和包括该谐振腔光谱仪的成像系统。光谱仪包括基于设置在两个介电间隔件之间的光敏半导体纳米膜的光电探测器阵列，每个介电间隔件具有沿横向的厚度梯度，使得对于阵列中的不同光电探测器，谐振腔高度不同。