| 一种X射线荧光(XRF)光谱分析系统 |
| CN202311454417.0 2023-11-3 发明申请 |
| 2024-2-2 |
| 本发明涉及X光检测技术领域，且公开了一种X射线荧光(XRF)光谱分析系统，系统包括至少一个X射线光源、至少一个探测器和至少一个衍射光学部件，所述衍射光学部件收集所述X射线光源发出的原级X射线，所述原级X射线经所述衍射光学部件衍射后得到单波长X射线，所述单波长X射线用以激发被测样品中的被测元素发射荧光X射线，所述探测器收集并分析所述荧光X射线。本发明的X射线荧光(XRF)光谱分析系统构建一个单波长偏振消光三维光路，使得该光路中的散射线满足近似线偏振光，从而达到偏振消光的目的，在不影响被测元素特征荧光X射线(特征峰)强度的前提下，降低散射线的强度，因此提高了本发明的检测灵敏度以及检测效率。 |
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