| 基于端面耦合的拉曼光谱仪芯片 |
| CN202111585936.1 2021-12-20 发明申请 |
| 2023-6-23 |
| 本发明提供一种基于端面耦合的拉曼光谱仪芯片，包括：由多个并排设置的傅里叶变换光谱仪芯片单元形成的傅里叶变换光谱仪芯片和图像传感器芯片封装在一起的封装体，以及与其机械连接的复合抛物面聚光镜及透镜；傅里叶变换光谱仪芯片单元包括依次连接的光耦入结构、偏振分光器及干涉仪结构。通过将复合抛物面聚光镜设置于傅里叶变换光谱仪芯片侧端面，并通过透镜的聚光效果，使光全部聚焦在芯片侧面进入光谱仪芯片，端面耦合没有偏振选择性并且耦入结构大小与光斑大小匹配，大大提高光的耦合效率；另外，偏振分光器可对所有拉曼信号光进行收集，提高光的收集效率；再者，通过一维结构的子干涉仪结构实现光的干涉，有效减小芯片体积，降低芯片成本。 |
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