| 全反射X射线荧光光谱仪及估算方法 |
| US18022996 2021-6-9 发明申请 |
| 2023-9-14 |
| 提供一种全反射型荧光X射线光谱仪及推定方法，其能够通过使用机械学习装置而容易且迅速地推定基板上是否存在污染。 所述全反射X射线荧光光谱仪包括：光谱获取单元，被配置为获取光谱； 以及学习单元，其包括估计单元，所述估计单元被配置为响应于所述光谱的输入而产生关于所述基板的表面上的污染中包含的元素的估计数据，并且所述估计单元对所述学习单元的学习已经基于教师数据来执行，所述教师数据包括所述学习用光谱和关于所述基板的表面上的污染中包含的元素的数据，所述教师数据已经用于获取所述学习用光谱以及当所述学习用光谱被输入到所述估计单元时产生的所述估计数据。 |
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