| 角分辨光电子能谱仪和方法 |
| JP2023545346 2022-1-19 发明申请 |
| 2024-2-2 |
| 描述了角度分辨光电子能谱仪和用于这种能谱仪的方法。 光谱仪具有第一端(1)和第二端(2)，以形成从固体样品(3)的样品表面(Ss)上的测量区域(A)发射的电子束，并将电子传输到第二端(2)。 光谱仪从光轴(6)中的样品表面(Ss)上的一点观看，光轴(6)与限制孔径(18)上的任意一点之间的角度大于45°且小于70°。 包括至少一个围绕光轴(6)布置的补偿电极(7)，该补偿电极距测量区域(a)的距离比距第一透镜元件(4)的距离更远。 根据所述方法，所述补偿电极(7)被配置为相对于所述样品(3)设置在负电压下。 |
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