| 在衬底表面上执行扫描探针显微镜检查的系统和方法 |
| EP18185282 2018-7-24 发明申请 |
| 2020-1-29 |
| 本发明涉及一种使用扫描探针显微镜系统在衬底表面上执行扫描探针显微镜检查的方法。 探针头和衬底表面在平行于扫描平面的一个或多个方向上相对于彼此移动，以将探针头定位到具有探针头的衬底表面上的扫描位置； 由所述探针尖端的编码器在所述一个或多个方向上测量位移； 并且提供相对于衬底表面固定的基准图案，所述基准图案具有可由所述探针尖端扫描的可扫描结构，并且所述结构在所述一个或多个维度上形成基准标记的网格； 所述栅格的尺寸设计成允许通过识别基准图案中的一个或多个基准标记来测量探针尖端相对于探针头的放置偏差。 |
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