| 一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪 |
| CN202311359086.2 2023-10-19 发明申请 |
| 2023-11-28 |
| 发明公开了一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，包括高通量微聚焦X射线发生器、多滤组件、快门组件、微区相机、广角相机、大口径X射线椭球玻璃管聚焦镜固定通用结构、三轴调试模块、三轴移动机构和设备外壳。本技术方案提供高精度动态调整高压控制模块，通过三轴调试模块连续调整X射线源与玻璃聚焦镜固定通用结构间的相对位置可以得到一种高通量的微聚焦X射线发生器，同时全面的结构设计可适配不同规格的X射线光学元器件，并且将适合用于大多数检测元素的八种滤光片集成在光路系统中，并且设计一种确保安全、避免损耗和快速响应的X射线快门。 |
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